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第321章 怒吼的学术权威(2 / 3)

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看过吗?觉得怎么样?”

有工程师道“胡总工你好,我叫奚龙山,我看过你的庞加莱猜想,不过看了一半就看不懂了,很惭愧啊,但我相信你是天才,真的!你很了不起!”

胡一亭问“奚工你留不留下?”

奚龙山道“我本来是想去庐州的,毕竟是省会大城市嘛,但看了你的《庞加莱猜想暨几何化猜想的完全证明》之后,我还是挺心动的,觉得你们重光是有很强的核心技术的,毕竟你们设计的几款芯片和程控机名气现在都很大,所以我主动申请留下来了。”

胡一亭和康耀祥几乎同时道“欢迎你加入重光!”

奚龙山仿佛要考考胡一亭和康耀祥,问道“胡总工,康总工,我们这套光刻机也是成光所的,自从把线宽从3微米调整到了15微米之后,透镜的发热问题就很严重了,你们将来要把五倍物镜换成8到10倍,那你们打算怎么解决曝光能量的发热问题,发热后引起镜头变形和偏焦,长时间这么干,那可要把设备毁了的。”

听到奚龙山发难,立刻有同事也参与进来“胡工康工你们好,我叫王选玉,也是214所的高级工程师,我想请问你们有什么办法解决光刻胶引起的显影缺陷吗?目前国内工艺里的光刻胶清洗中,残胶问题很突出,导致下一工序中的重复投影出现图形失效的问题很突出,你们的实验线有没有打算对这一问题进行改进?”

顾峡生一看这阵仗吓了一跳,心说这不是为难人家嘛,这个胡一亭数学水平再高,也对付不了你们这群术业有专攻的高工啊!高级工程师可是副教授级别,研究员级高级工程师是正教授级别。好家伙,这一群人里倒有一半是正教授,剩下一半副教授,你们一人问一个问题,这胡总就是有三头六臂也答不上来吧!他虽然是世界级数学天才,有精通ic设计,但怎么说也不可能对工艺制程了解的像你们这么深啊!

“大家都别为难胡总和康总了,这些技术问题是所有晶圆厂的通病,你们这样问,让康总和胡总怎么回答嘛!”

康耀祥也讪讪地笑着,心说这还真不好回答,毕竟每个厂都有自己的工艺,解决问题的办法各不相同,真要笼统的回答,未免要被大家瞧不起,但若不结合具体问题来谈,那这个问题就没了边际,说道明天早上也说不完啊。

正当康耀祥犹豫着怎么说才合适的时候,胡一亭却很认真地开了口。

“这有什么难的,光刻机镜头是个大型组合镜头,光是镜片就有十几二十片,套筒一个接一个,想要完全避免几何畸变是不可能的,这个问题无论哪家光刻机厂商都有。

作为照明源的高压汞灯能量很高,曝光时的快门速度只有零点几秒,自然是会导致镜头组件出现瞬间加热又瞬间冷却的几何畸变,但这些都是工程上的问题,我们做制程的不要去过多的考虑,不要去抱怨机子不如外国人的问题,要是机子和外国人一样好了,还要我们干什么!

我们要知道,制程工艺里是允许几何畸变的,甚至要利用几何畸变,首先我们要摸清畸变的像场特征,从而在镜头对焦时寻找畸变误差最小的对位点,这既要求我们一次次的实验,寻找每个镜头的畸变像场特征,也要改进我们的硅片定位系统,改进激光干涉仪的精度,确保畸变可控。

我就只说这么一个思路吧,再多的我就不说了,都是技术机密。

至于光刻胶残留造成的显影缺陷,那就更容易解决了,我再说一遍我们是搞制程的,不是搞化学的,光刻胶今后再怎么进化,用聚乙烯醇肉桂酸脂也好,环氧橡胶双叠氮也好,酚醛树脂重氮萘脂也好,那都是化工企业的问题,他们厂家怎么改进配方,那都不是我们要关心的问题。

为了彻底脱胶,我的思路是上双层胶,降低胶膜对光源的反射,也就是目前国际上刚提出来的用抗反射剂来解决胶体残

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